ਸੁੱਕੀ ਐਚਿੰਗ ਵਿੱਚ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤੀਆਂ ਜਾਣ ਵਾਲੀਆਂ ਐਚਿੰਗ ਗੈਸਾਂ ਕੀ ਹਨ?

ਸੁੱਕੀ ਐਚਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਮੁੱਖ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚੋਂ ਇੱਕ ਹੈ। ਸੁੱਕੀ ਐਚਿੰਗ ਗੈਸ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਮੁੱਖ ਸਮੱਗਰੀ ਹੈ ਅਤੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਿੰਗ ਲਈ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਗੈਸ ਸਰੋਤ ਹੈ। ਇਸਦਾ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਅੰਤਿਮ ਉਤਪਾਦ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਅਤੇ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਲੇਖ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸੁੱਕੀ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤੀਆਂ ਜਾਣ ਵਾਲੀਆਂ ਐਚਿੰਗ ਗੈਸਾਂ ਨੂੰ ਸਾਂਝਾ ਕਰਦਾ ਹੈ।

ਫਲੋਰਾਈਨ-ਅਧਾਰਤ ਗੈਸਾਂ: ਜਿਵੇਂ ਕਿਕਾਰਬਨ ਟੈਟਰਾਫਲੋਰਾਈਡ (CF4), ਹੈਕਸਾਫਲੋਰੋਈਥੇਨ (C2F6), ਟ੍ਰਾਈਫਲੋਰੋਮੀਥੇਨ (CHF3) ਅਤੇ ਪਰਫਲੂਰੋਪ੍ਰੋਪੇਨ (C3F8)। ਇਹ ਗੈਸਾਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਮਿਸ਼ਰਣਾਂ ਨੂੰ ਐਚਿੰਗ ਕਰਦੇ ਸਮੇਂ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਅਸਥਿਰ ਫਲੋਰਾਈਡ ਪੈਦਾ ਕਰ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਹਟਾਉਣਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।

ਕਲੋਰੀਨ-ਅਧਾਰਤ ਗੈਸਾਂ: ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਕਲੋਰੀਨ (Cl2),ਬੋਰਾਨ ਟ੍ਰਾਈਕਲੋਰਾਈਡ (BCl3)ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਟੈਟਰਾਕਲੋਰਾਈਡ (SiCl4)। ਕਲੋਰੀਨ-ਅਧਾਰਤ ਗੈਸਾਂ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ ਕਲੋਰਾਈਡ ਆਇਨ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ, ਜੋ ਐਚਿੰਗ ਦਰ ਅਤੇ ਚੋਣਤਮਕਤਾ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਣ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ।

ਬ੍ਰੋਮਾਈਨ-ਅਧਾਰਤ ਗੈਸਾਂ: ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਬ੍ਰੋਮਾਈਨ (Br2) ਅਤੇ ਬ੍ਰੋਮਾਈਨ ਆਇਓਡਾਈਡ (IBr)। ਬ੍ਰੋਮਾਈਨ-ਅਧਾਰਤ ਗੈਸਾਂ ਕੁਝ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚ ਬਿਹਤਰ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ, ਖਾਸ ਕਰਕੇ ਜਦੋਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਵਰਗੀਆਂ ਸਖ਼ਤ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਨੂੰ ਐਚਿੰਗ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।

ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ-ਅਧਾਰਤ ਅਤੇ ਆਕਸੀਜਨ-ਅਧਾਰਤ ਗੈਸਾਂ: ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਟ੍ਰਾਈਫਲੋਰਾਈਡ (NF3) ਅਤੇ ਆਕਸੀਜਨ (O2)। ਇਹਨਾਂ ਗੈਸਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਸਥਿਤੀਆਂ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਕਰਨ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ ਤਾਂ ਜੋ ਐਚਿੰਗ ਦੀ ਚੋਣ ਅਤੇ ਦਿਸ਼ਾ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਇਆ ਜਾ ਸਕੇ।

ਇਹ ਗੈਸਾਂ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਭੌਤਿਕ ਸਪਟਰਿੰਗ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਵਾਂ ਦੇ ਸੁਮੇਲ ਰਾਹੀਂ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ ਦੀ ਸਟੀਕ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ। ਐਚਿੰਗ ਗੈਸ ਦੀ ਚੋਣ ਐਚਿੰਗ ਕੀਤੀ ਜਾਣ ਵਾਲੀ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਕਿਸਮ, ਐਚਿੰਗ ਦੀਆਂ ਚੋਣਤਮਕ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਅਤੇ ਲੋੜੀਂਦੀ ਐਚਿੰਗ ਦਰ 'ਤੇ ਨਿਰਭਰ ਕਰਦੀ ਹੈ।