ਸੁੱਕੀ ਐਚਿੰਗ ਵਿੱਚ ਆਮ ਤੌਰ ਤੇ ਵਰਤਿਆ ਜਾਣ ਵਾਲੀ ਐਨਚਿੰਗ ਗੈਸਾਂ ਕੀ ਹਨ?

ਡਰਾਈ ਐਡਿੰਗ ਟੈਕਨੋਲੋਜੀ ਇਕ ਪ੍ਰਮੁੱਖ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿਚੋਂ ਇਕ ਹੈ. ਡਰਾਈ ਈਚਿੰਗ ਗੈਸ ਸੈਮੀਕੰਡਕੈਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਅਤੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਿੰਗ ਲਈ ਇਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਣ ਗੈਸ ਸਰੋਤ ਦੀ ਇਕ ਮੁੱਖ ਸਮੱਗਰੀ ਹੈ. ਇਸ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਸਿੱਧੇ ਉਤਪਾਦ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਅਤੇ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਤ ਕਰਦੀ ਹੈ. ਇਹ ਲੇਖ ਮੁੱਖ ਤੌਰ ਤੇ ਸਾਂਝਾ ਕਰਦਾ ਹੈ ਕਿ ਸੁੱਕਣ ਵਾਲੀ ਈਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਆਮ ਤੌਰ ਤੇ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਐਚਿੰਗ ਗੈਸਾਂ ਕੀ ਹਨ.

ਫਲੋਰਾਈਨ-ਅਧਾਰਤ ਗੈਸਾਂ: ਜਿਵੇਂ ਕਿਕਾਰਬਨ ਟੈਟ੍ਰਫਲਾਈਡ (ਸੀ.ਐਫ.4), ਹੇਕਸਾਫੋਥਨੇ (ਸੀ 22), ਟ੍ਰਿਫਲੁਓਰੋਮੈਥੇਨ (CHF3) ਅਤੇ ਪਰਫੋਰੋਪ੍ਰੋਪਨੇ (C3F8). ਇਹ ਗੈਸਾਂ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ically ੰਗ ਨਾਲ ਅਸਥਿਰ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਅਸਥਿਰ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਤਿਆਰ ਕਰ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ ਜਦੋਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਮਿਸ਼ਰਣਾਂ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਮਾਲਕੀ ਨੂੰ ਹਟਾਉਣ ਦੀ ਪ੍ਰਾਪਤੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ.

ਕਲੋਰੀਨ-ਅਧਾਰਤ ਗੈਸਾਂ: ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਕਲੋਰੀਨ (ਸੀ ਐਲ 2),ਬੋਰਨ ਟ੍ਰਾਈਕਲੋਰਾਈਡ (ਬੀਸੀਐਲ 3)ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਟੈਟ੍ਰਚੋਰਾਈਡ (SICL4). ਕਲੋਰੀਨ ਅਧਾਰਤ ਗੈਸਾਂ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕ੍ਰਿਆ ਦੇ ਦੌਰਾਨ ਕਲੋਰੀਡ ਆਇਨਜ਼ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ, ਜੋ ਕਿ ਐਚਿੰਗ ਰੇਟ ਅਤੇ ਚੋਣ ਦੀ ਸਥਿਤੀ ਨੂੰ ਸੁਧਾਰਨ ਵਿੱਚ ਸਹਾਇਤਾ ਕਰਦਾ ਹੈ.

ਬ੍ਰੋਮਾਈਨ-ਅਧਾਰਤ ਗੈਸਾਂ: ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਬਰੋਮਿਨ (ਬੀਆਰ 2) ਅਤੇ ਬਰੋਮਾਈਨ ਆਇਦਾਤਮਕ (ਆਈ.ਆਰ.ਆਰ.). ਬ੍ਰੋਮਾਈਨ ਅਧਾਰਤ ਗੈਸਾਂ ਕੁਝ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਕਰਨ ਵਾਲੀ ਥਾਂ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਖ਼ਾਸਕਰ ਜਦੋਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰੋ.

ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ-ਅਧਾਰਤ ਅਤੇ ਆਕਸੀਜਨ-ਅਧਾਰਤ ਗੈਸਾਂ: ਜਿਵੇਂ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਟ੍ਰਿਫਲੋਰਾਈਡ (ਐਨਐਫ 3) ਅਤੇ ਆਕਸੀਜਨ (O2). ਇਹ ਗੈਸਾਂ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਐਚਿੰਗ ਦੀ ਚੋਣ ਦੀ ਚੋਣ ਅਤੇ ਦਿਸ਼ਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਨ ਲਈ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਦੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਕਰਨ ਲਈ ਵਰਤੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ.

ਇਹ ਗੈਸਾਂ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਿੰਗ ਦੇ ਦੌਰਾਨ ਸਰੀਰਕ ਸਪਟਰਿੰਗ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਵਾਂ ਦੇ ਸੁਮੇਲ ਦੁਆਰਾ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੀ ਪੂਰਤੀ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਦੇ ਹਨ. ਐਚਿੰਗ ਗੈਸ ਦੀ ਚੋਣ ਈਚ ਕੀਤੀ ਗਈ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਕਿਸਮ 'ਤੇ ਨਿਰਭਰ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਐਚਿੰਗਿੰਗ ਦੀਆਂ ਜਰੂਰਤਾਂ ਅਤੇ ਲੋੜੀਂਦੀ ਐਚਿੰਗ ਰੇਟ.