ਟੰਗਸਟਨ ਹੈਕਸਾਫਲੋਰਾਈਡ (WF6) ਨੂੰ ਇੱਕ CVD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਰਾਹੀਂ ਵੇਫਰ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਧਾਤ ਦੇ ਇੰਟਰਕਨੈਕਸ਼ਨ ਖਾਈ ਨੂੰ ਭਰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਪਰਤਾਂ ਵਿਚਕਾਰ ਧਾਤ ਦਾ ਇੰਟਰਕਨੈਕਸ਼ਨ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।
ਪਹਿਲਾਂ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਬਾਰੇ ਗੱਲ ਕਰੀਏ। ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪਦਾਰਥ ਦਾ ਇੱਕ ਰੂਪ ਹੈ ਜੋ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਮੁਕਤ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨਾਂ ਅਤੇ ਚਾਰਜਡ ਆਇਨਾਂ ਤੋਂ ਬਣਿਆ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਬ੍ਰਹਿਮੰਡ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਮੌਜੂਦ ਹੈ ਅਤੇ ਅਕਸਰ ਇਸਨੂੰ ਪਦਾਰਥ ਦੀ ਚੌਥੀ ਅਵਸਥਾ ਮੰਨਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਇਸਨੂੰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਅਵਸਥਾ ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜਿਸਨੂੰ "ਪਲਾਜ਼ਮਾ" ਵੀ ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿੱਚ ਉੱਚ ਬਿਜਲੀ ਚਾਲਕਤਾ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਇਸਦਾ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਮੈਗਨੈਟਿਕ ਖੇਤਰ ਨਾਲ ਇੱਕ ਮਜ਼ਬੂਤ ਜੋੜਨ ਪ੍ਰਭਾਵ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਇੱਕ ਅੰਸ਼ਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ਡ ਗੈਸ ਹੈ, ਜੋ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨਾਂ, ਆਇਨਾਂ, ਮੁਕਤ ਰੈਡੀਕਲਾਂ, ਨਿਰਪੱਖ ਕਣਾਂ ਅਤੇ ਫੋਟੌਨਾਂ ਤੋਂ ਬਣੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਖੁਦ ਇੱਕ ਬਿਜਲੀ ਤੌਰ 'ਤੇ ਨਿਰਪੱਖ ਮਿਸ਼ਰਣ ਹੈ ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਭੌਤਿਕ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਕਣ ਹੁੰਦੇ ਹਨ।
ਸਿੱਧੀ ਵਿਆਖਿਆ ਇਹ ਹੈ ਕਿ ਉੱਚ ਊਰਜਾ ਦੀ ਕਿਰਿਆ ਦੇ ਅਧੀਨ, ਅਣੂ ਵੈਨ ਡੇਰ ਵਾਲਸ ਬਲ, ਰਸਾਇਣਕ ਬੰਧਨ ਬਲ ਅਤੇ ਕੁਲੋਂਬ ਬਲ ਨੂੰ ਪਾਰ ਕਰ ਦੇਵੇਗਾ, ਅਤੇ ਸਮੁੱਚੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਨਿਰਪੱਖ ਬਿਜਲੀ ਦਾ ਇੱਕ ਰੂਪ ਪੇਸ਼ ਕਰੇਗਾ। ਉਸੇ ਸਮੇਂ, ਬਾਹਰੋਂ ਦਿੱਤੀ ਗਈ ਉੱਚ ਊਰਜਾ ਉਪਰੋਕਤ ਤਿੰਨ ਬਲਾਂ ਨੂੰ ਪਾਰ ਕਰ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਫੰਕਸ਼ਨ, ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨ ਅਤੇ ਆਇਨ ਇੱਕ ਮੁਕਤ ਅਵਸਥਾ ਪੇਸ਼ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਜਿਸਨੂੰ ਚੁੰਬਕੀ ਖੇਤਰ ਦੇ ਮਾਡਿਊਲੇਸ਼ਨ ਦੇ ਅਧੀਨ ਨਕਲੀ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ, CVD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ, PVD ਅਤੇ IMP ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ।
ਉੱਚ ਊਰਜਾ ਕੀ ਹੈ? ਸਿਧਾਂਤ ਵਿੱਚ, ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਅਤੇ ਉੱਚ ਆਵਿਰਤੀ RF ਦੋਵਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨਾ ਲਗਭਗ ਅਸੰਭਵ ਹੈ। ਇਹ ਤਾਪਮਾਨ ਲੋੜ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਸੂਰਜ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ ਦੇ ਨੇੜੇ ਹੋ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਇਸ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਇਸਨੂੰ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨਾ ਮੂਲ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਅਸੰਭਵ ਹੈ। ਇਸ ਲਈ, ਉਦਯੋਗ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਇਸਨੂੰ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਲਈ ਉੱਚ-ਆਵਿਰਤੀ RF ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਪਲਾਜ਼ਮਾ RF 13MHz+ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚ ਸਕਦਾ ਹੈ।
ਟੰਗਸਟਨ ਹੈਕਸਾਫਲੋਰਾਈਡ ਇੱਕ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਫੀਲਡ ਦੀ ਕਿਰਿਆ ਅਧੀਨ ਪਲਾਜ਼ਮਾਾਈਜ਼ਡ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਫਿਰ ਇੱਕ ਚੁੰਬਕੀ ਖੇਤਰ ਦੁਆਰਾ ਭਾਫ਼-ਜਮ੍ਹਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। W ਪਰਮਾਣੂ ਸਰਦੀਆਂ ਦੇ ਹੰਸ ਦੇ ਖੰਭਾਂ ਦੇ ਸਮਾਨ ਹੁੰਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਗੁਰੂਤਾ ਦੀ ਕਿਰਿਆ ਅਧੀਨ ਜ਼ਮੀਨ 'ਤੇ ਡਿੱਗਦੇ ਹਨ। ਹੌਲੀ-ਹੌਲੀ, W ਪਰਮਾਣੂ ਥਰੂ ਹੋਲਾਂ ਵਿੱਚ ਜਮ੍ਹਾ ਹੋ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਅਤੇ ਅੰਤ ਵਿੱਚ ਧਾਤ ਦੇ ਆਪਸੀ ਸੰਬੰਧ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਪੂਰੇ ਛੇਕਾਂ ਵਿੱਚ ਭਰੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ। ਥਰੂ ਹੋਲਾਂ ਵਿੱਚ W ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਨੂੰ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਕੀ ਉਹ ਵੇਫਰ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਵੀ ਜਮ੍ਹਾ ਹੋਣਗੇ? ਹਾਂ, ਜ਼ਰੂਰ। ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਤੁਸੀਂ W-CMP ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹੋ, ਜਿਸਨੂੰ ਅਸੀਂ ਹਟਾਉਣ ਲਈ ਮਕੈਨੀਕਲ ਪੀਸਣ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਕਹਿੰਦੇ ਹਾਂ। ਇਹ ਭਾਰੀ ਬਰਫ਼ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਫਰਸ਼ ਨੂੰ ਸਾਫ਼ ਕਰਨ ਲਈ ਝਾੜੂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਨ ਦੇ ਸਮਾਨ ਹੈ। ਜ਼ਮੀਨ 'ਤੇ ਬਰਫ਼ ਸਾਫ਼ ਹੋ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਪਰ ਜ਼ਮੀਨ 'ਤੇ ਮੋਰੀ ਵਿੱਚ ਬਰਫ਼ ਰਹੇਗੀ। ਹੇਠਾਂ, ਲਗਭਗ ਇੱਕੋ ਜਿਹੀ।
ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਦਸੰਬਰ-24-2021
