ਟੰਗਸਟਨ ਹੈਕਸਾਫਲੋਰਾਈਡ (WF6) ਨੂੰ ਇੱਕ ਸੀਵੀਡੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੁਆਰਾ ਵੇਫਰ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਧਾਤ ਦੇ ਆਪਸੀ ਕੁਨੈਕਸ਼ਨ ਖਾਈ ਨੂੰ ਭਰ ਕੇ, ਅਤੇ ਲੇਅਰਾਂ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਧਾਤ ਦੇ ਆਪਸੀ ਕਨੈਕਸ਼ਨ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ।
ਆਓ ਪਹਿਲਾਂ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਬਾਰੇ ਗੱਲ ਕਰੀਏ. ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪਦਾਰਥ ਦਾ ਇੱਕ ਰੂਪ ਹੈ ਜੋ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਮੁਫਤ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨਾਂ ਅਤੇ ਚਾਰਜਡ ਆਇਨਾਂ ਨਾਲ ਬਣਿਆ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਬ੍ਰਹਿਮੰਡ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਮੌਜੂਦ ਹੈ ਅਤੇ ਇਸਨੂੰ ਅਕਸਰ ਪਦਾਰਥ ਦੀ ਚੌਥੀ ਅਵਸਥਾ ਮੰਨਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਇਸਨੂੰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਅਵਸਥਾ ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜਿਸਨੂੰ "ਪਲਾਜ਼ਮਾ" ਵੀ ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿੱਚ ਉੱਚ ਬਿਜਲਈ ਚਾਲਕਤਾ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਮੈਗਨੈਟਿਕ ਫੀਲਡ ਦੇ ਨਾਲ ਇੱਕ ਮਜ਼ਬੂਤ ਕਪਲਿੰਗ ਪ੍ਰਭਾਵ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਇੱਕ ਅੰਸ਼ਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਆਇਨਾਈਜ਼ਡ ਗੈਸ ਹੈ, ਜੋ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨਾਂ, ਆਇਨਾਂ, ਫ੍ਰੀ ਰੈਡੀਕਲਾਂ, ਨਿਰਪੱਖ ਕਣਾਂ ਅਤੇ ਫੋਟੌਨਾਂ ਨਾਲ ਬਣੀ ਹੋਈ ਹੈ। ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਆਪਣੇ ਆਪ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਨਿਰਪੱਖ ਮਿਸ਼ਰਣ ਹੁੰਦਾ ਹੈ ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਭੌਤਿਕ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਕਣ ਹੁੰਦੇ ਹਨ।
ਸਿੱਧਾ ਸਪੱਸ਼ਟੀਕਰਨ ਇਹ ਹੈ ਕਿ ਉੱਚ ਊਰਜਾ ਦੀ ਕਿਰਿਆ ਦੇ ਤਹਿਤ, ਅਣੂ ਵੈਨ ਡੇਰ ਵਾਲਜ਼ ਫੋਰਸ, ਰਸਾਇਣਕ ਬੰਧਨ ਬਲ ਅਤੇ ਕੁਲੋਂਬ ਬਲ ਨੂੰ ਪਾਰ ਕਰੇਗਾ, ਅਤੇ ਸਮੁੱਚੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਨਿਰਪੱਖ ਬਿਜਲੀ ਦਾ ਇੱਕ ਰੂਪ ਪੇਸ਼ ਕਰੇਗਾ। ਇਸ ਦੇ ਨਾਲ ਹੀ, ਬਾਹਰੋਂ ਦਿੱਤੀ ਗਈ ਉੱਚ ਊਰਜਾ ਉਪਰੋਕਤ ਤਿੰਨਾਂ ਤਾਕਤਾਂ ਨੂੰ ਮਾਤ ਦਿੰਦੀ ਹੈ। ਫੰਕਸ਼ਨ, ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨ ਅਤੇ ਆਇਨ ਇੱਕ ਮੁਕਤ ਅਵਸਥਾ ਪੇਸ਼ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਜੋ ਕਿ ਇੱਕ ਚੁੰਬਕੀ ਖੇਤਰ ਦੇ ਮਾਡੂਲੇਸ਼ਨ ਦੇ ਤਹਿਤ ਨਕਲੀ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ, CVD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ, PVD ਅਤੇ IMP ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ।
ਉੱਚ ਊਰਜਾ ਕੀ ਹੈ? ਸਿਧਾਂਤ ਵਿੱਚ, ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਅਤੇ ਉੱਚ ਆਵਿਰਤੀ RF ਦੋਵਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਨੂੰ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨਾ ਲਗਭਗ ਅਸੰਭਵ ਹੈ. ਇਹ ਤਾਪਮਾਨ ਦੀ ਲੋੜ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਸੂਰਜ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ ਦੇ ਨੇੜੇ ਹੋ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨਾ ਅਸਲ ਵਿੱਚ ਅਸੰਭਵ ਹੈ. ਇਸ ਲਈ, ਉਦਯੋਗ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਇਸ ਨੂੰ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਲਈ ਉੱਚ-ਆਵਿਰਤੀ ਆਰਐਫ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦਾ ਹੈ. ਪਲਾਜ਼ਮਾ RF 13MHz+ ਤੱਕ ਵੱਧ ਸਕਦਾ ਹੈ।
ਟੰਗਸਟਨ ਹੈਕਸਾਫਲੋਰਾਈਡ ਨੂੰ ਇੱਕ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਫੀਲਡ ਦੀ ਕਿਰਿਆ ਦੇ ਤਹਿਤ ਪਲਾਜ਼ਮਾਈਜ਼ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਫਿਰ ਇੱਕ ਚੁੰਬਕੀ ਖੇਤਰ ਦੁਆਰਾ ਭਾਫ਼-ਜਮਾ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਡਬਲਯੂ ਪਰਮਾਣੂ ਸਰਦੀਆਂ ਦੇ ਹੰਸ ਦੇ ਖੰਭਾਂ ਦੇ ਸਮਾਨ ਹੁੰਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਗੁਰੂਤਾ ਦੀ ਕਿਰਿਆ ਦੇ ਅਧੀਨ ਜ਼ਮੀਨ 'ਤੇ ਡਿੱਗਦੇ ਹਨ। ਹੌਲੀ-ਹੌਲੀ, ਡਬਲਯੂ ਐਟਮਾਂ ਨੂੰ ਹੋਲ ਰਾਹੀਂ ਵਿੱਚ ਜਮ੍ਹਾ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਅੰਤ ਵਿੱਚ ਧਾਤ ਦੇ ਆਪਸੀ ਕਨੈਕਸ਼ਨਾਂ ਨੂੰ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਹੋਲ ਰਾਹੀਂ ਪੂਰਾ ਭਰਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਡਬਲਯੂ ਐਟਮਾਂ ਨੂੰ ਥ੍ਰੀ ਹੋਲ ਵਿੱਚ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਕੀ ਉਹ ਵੇਫਰ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਵੀ ਜਮ੍ਹਾ ਕੀਤੇ ਜਾਣਗੇ? ਹਾਂ, ਯਕੀਨੀ ਤੌਰ 'ਤੇ। ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਤੁਸੀਂ W-CMP ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹੋ, ਜਿਸ ਨੂੰ ਅਸੀਂ ਹਟਾਉਣ ਲਈ ਮਕੈਨੀਕਲ ਪੀਸਣ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਕਹਿੰਦੇ ਹਾਂ। ਇਹ ਭਾਰੀ ਬਰਫਬਾਰੀ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਫਰਸ਼ ਨੂੰ ਝਾੜੂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਨ ਦੇ ਸਮਾਨ ਹੈ। ਜ਼ਮੀਨ 'ਤੇ ਪਈ ਬਰਫ਼ ਹੜ੍ਹ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਪਰ ਜ਼ਮੀਨ 'ਤੇ ਟੋਏ ਵਿੱਚ ਬਰਫ਼ ਬਣੀ ਰਹੇਗੀ। ਹੇਠਾਂ, ਲਗਭਗ ਇੱਕੋ ਜਿਹਾ।
ਪੋਸਟ ਟਾਈਮ: ਦਸੰਬਰ-24-2021
