ਸਿਲੀਕਾਨ ਨਾਈਟਰਾਈਡ ਐਚਿੰਗ ਵਿੱਚ ਸਲਫਰ ਹੈਕਸਾਫਲੋਰਾਈਡ ਦੀ ਭੂਮਿਕਾ

ਸਲਫਰ ਹੈਕਸਾਫਲੋਰਾਈਡ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਇੰਸੂਲੇਟਿੰਗ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਵਾਲੀ ਇੱਕ ਗੈਸ ਹੈ ਅਤੇ ਇਸਨੂੰ ਅਕਸਰ ਉੱਚ-ਵੋਲਟੇਜ ਆਰਕ ਬੁਝਾਉਣ ਅਤੇ ਟ੍ਰਾਂਸਫਾਰਮਰਾਂ, ਉੱਚ-ਵੋਲਟੇਜ ਟ੍ਰਾਂਸਮਿਸ਼ਨ ਲਾਈਨਾਂ, ਟ੍ਰਾਂਸਫਾਰਮਰਾਂ, ਆਦਿ ਵਿੱਚ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਹਾਲਾਂਕਿ, ਇਹਨਾਂ ਕਾਰਜਾਂ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਸਲਫਰ ਹੈਕਸਾਫਲੋਰਾਈਡ ਨੂੰ ਇੱਕ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਐਚੈਂਟ ਵਜੋਂ ਵੀ ਵਰਤਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। . ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਗ੍ਰੇਡ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਸਲਫਰ ਹੈਕਸਾਫਲੋਰਾਈਡ ਇੱਕ ਆਦਰਸ਼ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਐਚੈਂਟ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਮਾਈਕ੍ਰੋਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨਿਕ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦੇ ਖੇਤਰ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਅੱਜ, Niu Ruide ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸ ਸੰਪਾਦਕ Yueyue ਸਿਲੀਕਾਨ ਨਾਈਟਰਾਈਡ ਐਚਿੰਗ ਵਿੱਚ ਸਲਫਰ ਹੈਕਸਾਫਲੋਰਾਈਡ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਅਤੇ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਦੇ ਪ੍ਰਭਾਵ ਨੂੰ ਪੇਸ਼ ਕਰੇਗਾ।

ਅਸੀਂ SF6 ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਿੰਗ SiNx ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਬਾਰੇ ਚਰਚਾ ਕਰਦੇ ਹਾਂ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪਾਵਰ ਨੂੰ ਬਦਲਣਾ, SF6/He ਦਾ ਗੈਸ ਅਨੁਪਾਤ ਅਤੇ ਕੈਸ਼ਨਿਕ ਗੈਸ O2 ਨੂੰ ਜੋੜਨਾ, TFT ਦੀ SiNx ਤੱਤ ਸੁਰੱਖਿਆ ਪਰਤ ਦੀ ਐਚਿੰਗ ਦਰ 'ਤੇ ਇਸਦੇ ਪ੍ਰਭਾਵ ਬਾਰੇ ਚਰਚਾ ਕਰਨਾ, ਅਤੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਰੇਡੀਏਸ਼ਨ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਨਾ ਸ਼ਾਮਲ ਹੈ। ਸਪੈਕਟਰੋਮੀਟਰ SF6/He, SF6/He/O2 ਵਿੱਚ ਹਰੇਕ ਸਪੀਸੀਜ਼ ਦੀ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਦਾ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਅਤੇ SF6 ਡਿਸਸੋਸਿਏਸ਼ਨ ਰੇਟ, ਅਤੇ SiNx ਐਚਿੰਗ ਰੇਟ ਅਤੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਸਪੀਸੀਜ਼ ਦੀ ਤਵੱਜੋ ਦੇ ਬਦਲਾਅ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਸਬੰਧ ਦੀ ਪੜਚੋਲ ਕਰਦਾ ਹੈ।

ਅਧਿਐਨ ਨੇ ਪਾਇਆ ਹੈ ਕਿ ਜਦੋਂ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਦੀ ਸ਼ਕਤੀ ਵਧ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਐਚਿੰਗ ਦੀ ਦਰ ਵਧ ਜਾਂਦੀ ਹੈ; ਜੇਕਰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿੱਚ SF6 ਦੀ ਵਹਾਅ ਦੀ ਦਰ ਵਧ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਤਾਂ F ਐਟਮ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ ਵਧਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਐਚਿੰਗ ਦਰ ਨਾਲ ਸਕਾਰਾਤਮਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸਬੰਧ ਰੱਖਦਾ ਹੈ। ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਨਿਸ਼ਚਿਤ ਕੁੱਲ ਵਹਾਅ ਦਰ ਦੇ ਅਧੀਨ ਕੈਟੈਨਿਕ ਗੈਸ O2 ਨੂੰ ਜੋੜਨ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਇਹ ਐਚਿੰਗ ਦਰ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣ ਦਾ ਪ੍ਰਭਾਵ ਪਾਵੇਗਾ, ਪਰ ਵੱਖ-ਵੱਖ O2/SF6 ਵਹਾਅ ਅਨੁਪਾਤ ਦੇ ਅਧੀਨ, ਵੱਖ-ਵੱਖ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਵਿਧੀਆਂ ਹੋਣਗੀਆਂ, ਜਿਨ੍ਹਾਂ ਨੂੰ ਤਿੰਨ ਹਿੱਸਿਆਂ ਵਿੱਚ ਵੰਡਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। : (1 ) O2/SF6 ਵਹਾਅ ਅਨੁਪਾਤ ਬਹੁਤ ਛੋਟਾ ਹੈ, O2 SF6 ਨੂੰ ਵੱਖ ਕਰਨ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਸ ਸਮੇਂ ਐਚਿੰਗ ਦਰ ਹੈ ਜਦੋਂ O2 ਨੂੰ ਸ਼ਾਮਲ ਨਹੀਂ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਉਸ ਤੋਂ ਵੱਧ। (2) ਜਦੋਂ O2/SF6 ਵਹਾਅ ਅਨੁਪਾਤ 0.2 ਤੋਂ ਵੱਧ ਅੰਤਰਾਲ 1 ਤੱਕ ਪਹੁੰਚਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਇਸ ਸਮੇਂ, F ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਨੂੰ ਬਣਾਉਣ ਲਈ SF6 ਦੇ ਵਿਘਨ ਦੀ ਵੱਡੀ ਮਾਤਰਾ ਦੇ ਕਾਰਨ, ਐਚਿੰਗ ਦਰ ਸਭ ਤੋਂ ਵੱਧ ਹੈ; ਪਰ ਇਸਦੇ ਨਾਲ ਹੀ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿੱਚ O ਪਰਮਾਣੂ ਵੀ ਵੱਧ ਰਹੇ ਹਨ ਅਤੇ SiNx ਫਿਲਮ ਸਤਹ ਦੇ ਨਾਲ SiOx ਜਾਂ SiNxO(yx) ਬਣਾਉਣਾ ਆਸਾਨ ਹੈ, ਅਤੇ ਜਿੰਨਾ ਜ਼ਿਆਦਾ O ਪਰਮਾਣੂ ਵਧਣਗੇ, F ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਲਈ ਓਨਾ ਹੀ ਮੁਸ਼ਕਲ ਹੋਵੇਗਾ। ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਤੀਕਰਮ. ਇਸ ਲਈ, ਜਦੋਂ O2/SF6 ਅਨੁਪਾਤ 1 ਦੇ ਨੇੜੇ ਹੁੰਦਾ ਹੈ ਤਾਂ ਐਚਿੰਗ ਦੀ ਦਰ ਹੌਲੀ ਹੋਣੀ ਸ਼ੁਰੂ ਹੋ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। (3) ਜਦੋਂ O2/SF6 ਅਨੁਪਾਤ 1 ਤੋਂ ਵੱਧ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਐਚਿੰਗ ਦੀ ਦਰ ਘੱਟ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। O2 ਵਿੱਚ ਵੱਡੇ ਵਾਧੇ ਦੇ ਕਾਰਨ, ਵੱਖ ਕੀਤੇ F ਪਰਮਾਣੂ O2 ਅਤੇ ਫਾਰਮ OF ਨਾਲ ਟਕਰਾ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਨਾਲ F ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਦੀ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ ਘਟਦੀ ਹੈ, ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਐਚਿੰਗ ਦਰ ਵਿੱਚ ਕਮੀ ਆਉਂਦੀ ਹੈ। ਇਸ ਤੋਂ ਇਹ ਦੇਖਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ ਕਿ ਜਦੋਂ O2 ਨੂੰ ਜੋੜਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, O2/SF6 ਦਾ ਪ੍ਰਵਾਹ ਅਨੁਪਾਤ 0.2 ਅਤੇ 0.8 ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਸਭ ਤੋਂ ਵਧੀਆ ਐਚਿੰਗ ਦਰ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ।