ਸਾਡੇ ਦੇਸ਼ ਦਾ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗ ਅਤੇ ਪੈਨਲ ਉਦਯੋਗ ਉੱਚ ਪੱਧਰ ਦੀ ਖੁਸ਼ਹਾਲੀ ਨੂੰ ਬਰਕਰਾਰ ਰੱਖਦਾ ਹੈ। ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਟ੍ਰਾਈਫਲੋਰਾਈਡ, ਪੈਨਲਾਂ ਅਤੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰਾਂ ਦੇ ਉਤਪਾਦਨ ਅਤੇ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਲਾਜ਼ਮੀ ਅਤੇ ਸਭ ਤੋਂ ਵੱਡੀ ਮਾਤਰਾ ਵਿੱਚ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਗੈਸ ਦੇ ਰੂਪ ਵਿੱਚ, ਇੱਕ ਵਿਸ਼ਾਲ ਬਾਜ਼ਾਰ ਸਥਾਨ ਰੱਖਦਾ ਹੈ।
ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਫਲੋਰੀਨ ਵਾਲੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਗੈਸਾਂ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨਸਲਫਰ ਹੈਕਸਾਫਲੋਰਾਈਡ (SF6), ਟੰਗਸਟਨ ਹੈਕਸਾਫਲੋਰਾਈਡ (WF6),ਕਾਰਬਨ ਟੈਟਰਾਫਲੋਰਾਈਡ (CF4), ਟ੍ਰਾਈਫਲੋਰੋਮੀਥੇਨ (CHF3), ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਟ੍ਰਾਈਫਲੋਰਾਈਡ (NF3), ਹੈਕਸਾਫਲੋਰੋਈਥੇਨ (C2F6) ਅਤੇ ਔਕਟਾਫਲੋਰੋਪ੍ਰੋਪੇਨ (C3F8)। ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਟ੍ਰਾਈਫਲੋਰਾਈਡ (NF3) ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ ਫਲੋਰਾਈਡ-ਫਲੋਰਾਈਡ ਗੈਸ ਉੱਚ-ਊਰਜਾ ਰਸਾਇਣਕ ਲੇਜ਼ਰਾਂ ਲਈ ਫਲੋਰਾਈਨ ਸਰੋਤ ਵਜੋਂ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। H2-O2 ਅਤੇ F2 ਵਿਚਕਾਰ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਊਰਜਾ ਦਾ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਹਿੱਸਾ (ਲਗਭਗ 25%) ਲੇਜ਼ਰ ਰੇਡੀਏਸ਼ਨ ਦੁਆਰਾ ਜਾਰੀ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਇਸ ਲਈ HF-OF ਲੇਜ਼ਰ ਰਸਾਇਣਕ ਲੇਜ਼ਰਾਂ ਵਿੱਚੋਂ ਸਭ ਤੋਂ ਵੱਧ ਵਾਅਦਾ ਕਰਨ ਵਾਲੇ ਲੇਜ਼ਰ ਹਨ।
ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਟ੍ਰਾਈਫਲੋਰਾਈਡ ਮਾਈਕ੍ਰੋਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨਿਕਸ ਉਦਯੋਗ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਿੰਗ ਗੈਸ ਹੈ। ਸਿਲੀਕਾਨ ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਨਾਈਟਰਾਈਡ ਨੂੰ ਐਚਿੰਗ ਕਰਨ ਲਈ, ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਟ੍ਰਾਈਫਲੋਰਾਈਡ ਵਿੱਚ ਕਾਰਬਨ ਟੈਟਰਾਫਲੋਰਾਈਡ ਅਤੇ ਕਾਰਬਨ ਟੈਟਰਾਫਲੋਰਾਈਡ ਅਤੇ ਆਕਸੀਜਨ ਦੇ ਮਿਸ਼ਰਣ ਨਾਲੋਂ ਉੱਚ ਐਚਿੰਗ ਦਰ ਅਤੇ ਚੋਣਤਮਕਤਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਸਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਕੋਈ ਪ੍ਰਦੂਸ਼ਣ ਨਹੀਂ ਹੈ। ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ 1.5um ਤੋਂ ਘੱਟ ਮੋਟਾਈ ਵਾਲੀਆਂ ਏਕੀਕ੍ਰਿਤ ਸਰਕਟ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਦੀ ਐਚਿੰਗ ਵਿੱਚ, ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਟ੍ਰਾਈਫਲੋਰਾਈਡ ਵਿੱਚ ਬਹੁਤ ਵਧੀਆ ਐਚਿੰਗ ਦਰ ਅਤੇ ਚੋਣਤਮਕਤਾ ਹੈ, ਜੋ ਐਚਡ ਵਸਤੂ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਕੋਈ ਰਹਿੰਦ-ਖੂੰਹਦ ਨਹੀਂ ਛੱਡਦੀ, ਅਤੇ ਇਹ ਇੱਕ ਬਹੁਤ ਵਧੀਆ ਸਫਾਈ ਏਜੰਟ ਵੀ ਹੈ। ਨੈਨੋ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦੇ ਵਿਕਾਸ ਅਤੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕਸ ਉਦਯੋਗ ਦੇ ਵੱਡੇ ਪੱਧਰ 'ਤੇ ਵਿਕਾਸ ਦੇ ਨਾਲ, ਇਸਦੀ ਮੰਗ ਦਿਨੋ-ਦਿਨ ਵਧੇਗੀ।
ਫਲੋਰੀਨ ਵਾਲੀ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸ ਦੀ ਇੱਕ ਕਿਸਮ ਦੇ ਰੂਪ ਵਿੱਚ, ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਟ੍ਰਾਈਫਲੋਰਾਈਡ (NF3) ਬਾਜ਼ਾਰ ਵਿੱਚ ਸਭ ਤੋਂ ਵੱਡਾ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸ ਉਤਪਾਦ ਹੈ। ਇਹ ਕਮਰੇ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਅਯੋਗ, ਆਕਸੀਜਨ ਨਾਲੋਂ ਵਧੇਰੇ ਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ, ਫਲੋਰੀਨ ਨਾਲੋਂ ਵਧੇਰੇ ਸਥਿਰ, ਅਤੇ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਸੰਭਾਲਣ ਵਿੱਚ ਆਸਾਨ ਹੈ।
ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਟ੍ਰਾਈਫਲੋਰਾਈਡ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਿੰਗ ਗੈਸ ਅਤੇ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਚੈਂਬਰ ਸਫਾਈ ਏਜੰਟ ਵਜੋਂ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਚਿਪਸ, ਫਲੈਟ ਪੈਨਲ ਡਿਸਪਲੇਅ, ਆਪਟੀਕਲ ਫਾਈਬਰ, ਫੋਟੋਵੋਲਟੇਇਕ ਸੈੱਲ, ਆਦਿ ਵਰਗੇ ਨਿਰਮਾਣ ਖੇਤਰਾਂ ਲਈ ਢੁਕਵਾਂ ਹੈ।
ਹੋਰ ਫਲੋਰੀਨ-ਯੁਕਤ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਗੈਸਾਂ ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ, ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਟ੍ਰਾਈਫਲੋਰਾਈਡ ਵਿੱਚ ਤੇਜ਼ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਅਤੇ ਉੱਚ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਦੇ ਫਾਇਦੇ ਹਨ, ਖਾਸ ਕਰਕੇ ਸਿਲੀਕਾਨ-ਯੁਕਤ ਸਮੱਗਰੀ ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਸਿਲੀਕਾਨ ਨਾਈਟਰਾਈਡ ਦੀ ਐਚਿੰਗ ਵਿੱਚ, ਇਸਦੀ ਐਚਿੰਗ ਦਰ ਅਤੇ ਚੋਣਤਮਕਤਾ ਉੱਚੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਐਚਡ ਵਸਤੂ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਕੋਈ ਰਹਿੰਦ-ਖੂੰਹਦ ਨਹੀਂ ਰਹਿੰਦੀ, ਅਤੇ ਇਹ ਇੱਕ ਬਹੁਤ ਵਧੀਆ ਸਫਾਈ ਏਜੰਟ ਵੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਹ ਸਤ੍ਹਾ ਨੂੰ ਪ੍ਰਦੂਸ਼ਿਤ ਨਹੀਂ ਕਰਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀਆਂ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ।
ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਦਸੰਬਰ-26-2024
