ਤੁਲਨਾਤਮਕ ਉਤਪਾਦਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਦੇ ਨਾਲ ਸੈਮੀਕੁੰਡਕਟਰ ਵੇਫਰ ਫਾਉਂਡ੍ਰੀ ਦੀ ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਲਗਭਗ 50 ਵੱਖ-ਵੱਖ ਕਿਸਮਾਂ ਦੀਆਂ ਗੈਸਾਂ ਦੀ ਜ਼ਰੂਰਤ ਹੈ. ਗੈਸਾਂ ਆਮ ਤੌਰ ਤੇ ਥੋਕ ਗੈਸਾਂ ਵਿੱਚ ਵੰਡੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ ਅਤੇਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ.

ਮਾਈਕ੍ਰੋਡਕੁਲੇਕਟ੍ਰੋਨਿਕਸ ਅਤੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗਾਂ ਵਿੱਚ ਗੈਸਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਗੈਸਾਂ ਦੁਆਰਾਂਡੰਕ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚ ਹਮੇਸ਼ਾਂ ਮਹੱਤਵਪੂਰਣ ਭੂਮਿਕਾ ਨਿਭਾਈ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਖ਼ਾਸਕਰ ਵੱਖ ਵੱਖ ਉਦਯੋਗਾਂ ਵਿੱਚ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸੈਮਕੰਡਕ ਕਾਰਪੋਰੇਸ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ ਤੇ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ. Ulsi, tft-lcd ਤੋਂ ਮੌਜੂਦਾ ਮਾਈਕਰੋ-ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਮਾਂਚਕ (ਐਮਈਐਮਐਸ) ਉਦਯੋਗ ਤੱਕ, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਉਤਪਾਦ ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ, ਸਮੇਤ ਆਕਸੀਡੇਸ਼ਨ, ਆਈਓਨ ਇਮਪਲਾਂਟੇਸ਼ਨ, ਪਤਲੇ ਫਿਲਮ ਜਮ੍ਹਾ ਆਦਿ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ.

ਉਦਾਹਰਣ ਦੇ ਲਈ, ਬਹੁਤ ਸਾਰੇ ਲੋਕ ਜਾਣਦੇ ਹਨ ਕਿ ਚਿਪ ਰੇਤ ਦੇ ਬਣੇ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਪਰ ਚਿੱਪ ਦੇ ਨਿਰਮਾਣ ਦੀ ਪੂਰੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨੂੰ ਵੇਖ ਰਹੇ ਹਨ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ ਦੀਆਂ ਸਾਮੱਗਰੀ, ਟਾਰਗੇਟ ਸਮੱਗਰੀ, ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸ ਆਦਿ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹਨ. ਬੈਕ-ਐਂਡ ਪੈਕਜਿੰਗ ਲਈ ਘਰ ਦੇ ਸਮਰਪਤ, ਇੰਟਰਪੋਜ਼ਰਸ, ਵੱਖ-ਵੱਖ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਬੌਂਡਰੇਸ, ਆਦਿ ਦੀ ਜ਼ਰੂਰਤ ਹੈ. ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਸਪੈਸ਼ਲ ਗੈਸਾਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਸ ਦੇ ਬਾਅਦ ਸੇਮਕੌਂਡਕਰ ਮੇਕਚਰ ਦੇ ਖਰਚਿਆਂ ਵਿੱਚ ਦੂਜੀ ਸਭ ਤੋਂ ਵੱਡੀ ਸਮੱਗਰੀ ਹਨ, ਇਸਦੇ ਬਾਅਦ ਮਾਸਕ ਅਤੇ ਫੋਟੋਸ਼ੋਰਿਸਟਾਂ ਦੇ ਬਾਅਦ

ਗੈਸ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਅਤੇ ਉਤਪਾਦਾਂ ਦੀ ਉਪਜ 'ਤੇ ਫੈਸਲਾਕੁੰਨ ਪ੍ਰਭਾਵ ਹੈ, ਅਤੇ ਗੈਸ ਸਪਲਾਈ ਦੀ ਸੁਰੱਖਿਆ ਕਰਮਚਾਰੀਆਂ ਦੀ ਸਿਹਤ ਅਤੇ ਫੈਕਟਰੀ ਦੇ ਕੰਮ ਦੀ ਸੁਰੱਖਿਆ ਨਾਲ ਸਬੰਧਤ ਹੈ. ਪ੍ਰੋਸੈਸ ਲਾਈਨ ਅਤੇ ਕਰਮਚਾਰੀਆਂ 'ਤੇ ਗੈਸ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦਾ ਇੰਨਾ ਵੱਡਾ ਪ੍ਰਭਾਵ ਕਿਉਂ ਹੁੰਦਾ ਹੈ? ਇਹ ਅਤਿਕਥਨੀ ਨਹੀਂ ਹੈ, ਪਰੰਤੂ ਗੈਸ ਦੀਆਂ ਖਤਰਨਾਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਦੁਆਰਾ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ.

ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗ ਵਿੱਚ ਆਮ ਗੈਸਾਂ ਦਾ ਵਰਗੀਕਰਣ

ਆਮ ਗੈਸ

ਆਮ ਗੈਸ ਨੂੰ ਥੋਕ ਗੈਸ ਵੀ ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ: ਇਹ 5n ਤੋਂ ਘੱਟ ਤੋਂ ਘੱਟ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੀ ਜ਼ਰੂਰਤ ਅਤੇ ਇੱਕ ਵਿਸ਼ਾਲ ਉਤਪਾਦਨ ਅਤੇ ਵਿਕਰੀ ਵਾਲੀਅਮ ਨਾਲ ਉਦਯੋਗਿਕ ਗੈਸ ਦਾ ਹਵਾਲਾ ਦਿੰਦਾ ਹੈ. ਇਸ ਨੂੰ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਤਿਆਰੀ ਦੇ ਤਰੀਕਿਆਂ ਅਨੁਸਾਰ ਹਵਾ ਵੱਖ ਹੋਣ ਵਾਲੀ ਗੈਸ ਅਤੇ ਸਿੰਥੈਟਿਕ ਗੈਸ ਵਿੱਚ ਵੰਡਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ. ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ (ਐਚ 2), ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ (ਐਨ 2), ਆਕਸੀਜਨ (ਓ 2), ਅਰਗੋਨ (ਏ 2), ਆਦਿ;

ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸ

ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸ ਉਦਯੋਗਿਕ ਗੈਸ ਦਾ ਹਵਾਲਾ ਦਿੰਦੀ ਹੈ ਜੋ ਖਾਸ ਖੇਤਰਾਂ ਵਿੱਚ ਵਰਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਸ਼ੁੱਧਤਾ, ਕਈ ਕਿਸਮਾਂ ਅਤੇ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਲਈ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਹਨ. ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇSheh4, Ph3, ਬੀ 2h6, a8h3,Hcl, ਸੀ.ਐੱਫ .4,Nh3, Pocl3, shh2cl2, sihcl3,Nh3, Bcl3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,Sf6… ਇਤਆਦਿ.

ਸਪਾਈਸੀਅਲ ਗੈਸਾਂ ਦੀਆਂ ਕਿਸਮਾਂ

ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ ਦੀਆਂ ਕਿਸਮਾਂ: ਖਰਾਬ, ਜ਼ਹਿਰੀਲੇ, ਜਲਣਸ਼ੀਲ, ਬਲਨ-ਸਪੋਰਟਿੰਗ, ਅਯੋਗ ਆਦਿ.
ਆਮ ਤੌਰ ਤੇ ਵਰਤੇ ਜਾਂਦੇ ਸੈਮੀਕਮੰਡਕ ਗਾਸਾਂ ਨੂੰ ਹੇਠਾਂ ਸ਼੍ਰੇਣੀਬੱਧ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ:
(i) ਖਰਾਬ / ਜ਼ਹਿਰੀਲੇ:Hcl, BF3, WF6, HBR, HH3, PH3, PH3, PL3, ਸੀ ਐਲ 2,Bcl3...
(ii) ਜਲਣਸ਼ੀਲ: ਐਚ 2,Ch4,Sheh4, Ph3, ਐਸ਼ 3, sh2cl2, ਬੀ 2h6, ch2f2, ch2f2, CO ...
(iii) ਜਲਣਸ਼ੀਲ: ਓ 2, ਸੀ ਐਲ 2, ਐਨ 2 ਓ, ਐਨਐਫ 3 ...
(iv) inert: n2,ਸੀ.ਐਫ.4, C2F6,C4F8,Sf6, CO2,Ne,Kr, ਉਹ ...

ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਚਿੱਪ ਨਿਰਮਾਣ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿਚ, ਆਕਸੀਕਰਨ, ਫੈਲਾਏਸ਼ਨ, ਦਰਜ ਟੀਕੇ ਅਤੇ ਹੋਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਦੇ ਲਗਭਗ 50 ਵੱਖ-ਵੱਖ ਕਿਸਮਾਂ ਦੇ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਕੁੱਲ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਸੈਂਕੜੇ ਤੋਂ ਵੱਧ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ. ਉਦਾਹਰਣ ਦੇ ਲਈ, PHFPlittion GF4, CHF3, SF6 ਅਤੇ HALOGE GASS CI2, BCI3, Nh2, Nh2, Nh2, Nh2, N2O, N2O, N2O, N2O, N2O, N2O ਵਿੱਚ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ.

ਉਪਰੋਕਤ ਪਹਿਲੂਆਂ ਤੋਂ, ਅਸੀਂ ਸਮਝ ਸਕਦੇ ਹਾਂ ਕਿ ਬਹੁਤ ਸਾਰੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਗੈਸ ਮਨੁੱਖੀ ਸਰੀਰ ਲਈ ਨੁਕਸਾਨਦੇਹ ਹਨ. ਖਾਸ ਕਰਕੇ, ਕੁਝ ਗੈਸਾਂ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ 4, ਸਵੈ-ਉਲਝਣ ਵਾਲੇ ਹਨ. ਜਿੰਨਾ ਚਿਰ ਉਹ ਲੀਕ ਹੋ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਉਹ ਹਵਾ ਵਿਚ ਆਕਸੀਜਨ ਨਾਲ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ ਤੇ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਕਰਨਗੇ ਅਤੇ ਸਾੜਨਾ ਸ਼ੁਰੂ ਕਰ ਦਿੰਦੇ ਹਨ; ਅਤੇ ਐਸ਼ 3 ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਜ਼ਹਿਰੀਲੇ ਹਨ. ਕੋਈ ਹਲਕਾ ਲੀਕ ਹੋਣ ਨਾਲ ਲੋਕਾਂ ਦੀਆਂ ਜ਼ਿੰਦਗੀਆਂ ਨੂੰ ਨੁਕਸਾਨ ਪਹੁੰਚਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਇਸ ਲਈ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਲਈ ਨਿਯੰਤਰਣ ਸਿਸਟਮ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਦੀ ਸੁਰੱਖਿਆ ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਉੱਚ ਹੈ.

ਸੇਮੁਕਤਕਾਂ ਨੂੰ "ਤਿੰਨ ਡਿਗਰੀ" ਹੋਣ ਲਈ ਉੱਚ ਪੱਧਰੀ ਗੈਸਾਂ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ

ਗੈਸ ਸ਼ੁੱਧਤਾ

ਗੈਸ ਦੇ ਅਪਵਿੱਤਰਤਾ ਦੇ ਮਾਹੌਲ ਦੀ ਸਮੱਗਰੀ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਗੈਸ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੀ ਪ੍ਰਤੀਸ਼ਤ ਦੇ ਤੌਰ ਤੇ ਦਰਸਾਉਂਦੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ 99.9999%. ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਬੋਲਣਾ, ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ ਲਈ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੀ ਜ਼ਰੂਰਤ 5N -6N ਤੱਕ ਪਹੁੰਚ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਹ ਅਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੇ ਭਾਗ ਪ੍ਰਤੀ ਮਿਲੀਅਨ ਦੇ ਅਨੁਪਾਤ, ਪੀਪੀਬੀ (ਪ੍ਰਤੀ ਟ੍ਰਿਲੀਅਨ ਡਾਲਰ) ਦੁਆਰਾ ਵੀ ਪ੍ਰਗਟ ਕੀਤੀ ਗਈ ਹੈ. ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਫੀਲਡ ਵਿਚ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਗੁਣਵੱਤਾ ਦੀ ਯੋਗਤਾ ਲਈ ਸਭ ਤੋਂ ਵੱਧ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ, ਅਤੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਆਮ ਤੌਰ ਤੇ 6n ਤੋਂ ਵੱਧ ਹੁੰਦੀ ਹੈ.

ਖੁਸ਼ਕੀ

ਗੈਸ ਜਾਂ ਗਿੱਲੇਤਾ ਵਿਚ ਟਰੇਸ ਪਾਣੀ ਦੀ ਸਮੱਗਰੀ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਤ੍ਰੇਲ ਪੁਆਇੰਟ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਡਯੂ ਪੁਆਇੰਟ -70 ℃ ਵਿਚ ਪ੍ਰਗਟ ਹੁੰਦੀ ਹੈ.

ਸਫਾਈ

ਗੈਸ ਵਿਚ ਪ੍ਰਦੂਸ਼ਿਤ ਕਣਾਂ ਦੀ ਗਿਣਤੀ, μM ਦੇ ਇਕ ਕਣ ਦੇ ਨਾਲ ਦੇ ਕਣ, ਕਿੰਨੇ ਕਣ / ਐਮ 3 ਵਿਚ ਪ੍ਰਗਟ ਕੀਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ. ਸੰਕੁਚਿਤ ਹਵਾ ਲਈ, ਇਸ ਨੂੰ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਅਟੱਲ ਠੋਸ ਅਵਲਾਂ ਦੇ ਐਮਜੀ / ਐਮ 3 ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਗਟ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਤੇਲ ਸਮੱਗਰੀ ਸ਼ਾਮਲ ਹੁੰਦੀ ਹੈ.