ਮੁਕਾਬਲਤਨ ਉੱਨਤ ਉਤਪਾਦਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਾਲੀਆਂ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਵੇਫਰ ਫਾਊਂਡਰੀਆਂ ਦੀ ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਲਗਭਗ 50 ਵੱਖ-ਵੱਖ ਕਿਸਮਾਂ ਦੀਆਂ ਗੈਸਾਂ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਗੈਸਾਂ ਨੂੰ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਥੋਕ ਗੈਸਾਂ ਵਿੱਚ ਵੰਡਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ.

ਮਾਈਕ੍ਰੋਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨਿਕਸ ਅਤੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗਾਂ ਵਿੱਚ ਗੈਸਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਗੈਸਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਹਮੇਸ਼ਾ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਭੂਮਿਕਾ ਨਿਭਾਉਂਦੀ ਰਹੀ ਹੈ, ਖਾਸ ਕਰਕੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਉਦਯੋਗਾਂ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ। ULSI, TFT-LCD ਤੋਂ ਲੈ ਕੇ ਮੌਜੂਦਾ ਮਾਈਕ੍ਰੋ-ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਮੈਕਨੀਕਲ (MEMS) ਉਦਯੋਗ ਤੱਕ, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਨੂੰ ਉਤਪਾਦ ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਜੋਂ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਸੁੱਕੀ ਐਚਿੰਗ, ਆਕਸੀਕਰਨ, ਆਇਨ ਇਮਪਲਾਂਟੇਸ਼ਨ, ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨਾ ਆਦਿ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ।

ਉਦਾਹਰਣ ਵਜੋਂ, ਬਹੁਤ ਸਾਰੇ ਲੋਕ ਜਾਣਦੇ ਹਨ ਕਿ ਚਿਪਸ ਰੇਤ ਤੋਂ ਬਣੀਆਂ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ, ਪਰ ਚਿੱਪ ਨਿਰਮਾਣ ਦੀ ਪੂਰੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨੂੰ ਦੇਖਦੇ ਹੋਏ, ਹੋਰ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ, ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ ਤਰਲ, ਨਿਸ਼ਾਨਾ ਸਮੱਗਰੀ, ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸ, ਆਦਿ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹਨ। ਬੈਕ-ਐਂਡ ਪੈਕੇਜਿੰਗ ਲਈ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਦੇ ਸਬਸਟਰੇਟ, ਇੰਟਰਪੋਜ਼ਰ, ਲੀਡ ਫਰੇਮ, ਬੰਧਨ ਸਮੱਗਰੀ ਆਦਿ ਦੀ ਵੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਲਾਗਤਾਂ ਵਿੱਚ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ ਦੂਜੀ ਸਭ ਤੋਂ ਵੱਡੀ ਸਮੱਗਰੀ ਹਨ, ਜਿਸ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਮਾਸਕ ਅਤੇ ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ ਆਉਂਦੇ ਹਨ।

ਗੈਸ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦਾ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਅਤੇ ਉਤਪਾਦ ਉਪਜ 'ਤੇ ਨਿਰਣਾਇਕ ਪ੍ਰਭਾਵ ਪੈਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਗੈਸ ਸਪਲਾਈ ਦੀ ਸੁਰੱਖਿਆ ਕਰਮਚਾਰੀਆਂ ਦੀ ਸਿਹਤ ਅਤੇ ਫੈਕਟਰੀ ਸੰਚਾਲਨ ਦੀ ਸੁਰੱਖਿਆ ਨਾਲ ਸਬੰਧਤ ਹੈ। ਗੈਸ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦਾ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਲਾਈਨ ਅਤੇ ਕਰਮਚਾਰੀਆਂ 'ਤੇ ਇੰਨਾ ਵੱਡਾ ਪ੍ਰਭਾਵ ਕਿਉਂ ਪੈਂਦਾ ਹੈ? ਇਹ ਕੋਈ ਅਤਿਕਥਨੀ ਨਹੀਂ ਹੈ, ਪਰ ਗੈਸ ਦੀਆਂ ਖਤਰਨਾਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਦੁਆਰਾ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।

ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗ ਵਿੱਚ ਆਮ ਗੈਸਾਂ ਦਾ ਵਰਗੀਕਰਨ

ਆਮ ਗੈਸ

ਆਮ ਗੈਸ ਨੂੰ ਥੋਕ ਗੈਸ ਵੀ ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ: ਇਹ 5N ਤੋਂ ਘੱਟ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੀ ਲੋੜ ਅਤੇ ਵੱਡੇ ਉਤਪਾਦਨ ਅਤੇ ਵਿਕਰੀ ਵਾਲੀਅਮ ਵਾਲੀ ਉਦਯੋਗਿਕ ਗੈਸ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਇਸਨੂੰ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਤਿਆਰੀ ਤਰੀਕਿਆਂ ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ ਹਵਾ ਵੱਖ ਕਰਨ ਵਾਲੀ ਗੈਸ ਅਤੇ ਸਿੰਥੈਟਿਕ ਗੈਸ ਵਿੱਚ ਵੰਡਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ (H2), ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ (N2), ਆਕਸੀਜਨ (O2), ਆਰਗਨ (A2), ਆਦਿ;

ਸਪੈਸ਼ਲਿਟੀ ਗੈਸ

ਸਪੈਸ਼ਲਿਟੀ ਗੈਸ ਉਦਯੋਗਿਕ ਗੈਸ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦੀ ਹੈ ਜੋ ਖਾਸ ਖੇਤਰਾਂ ਵਿੱਚ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਸ਼ੁੱਧਤਾ, ਵਿਭਿੰਨਤਾ ਅਤੇ ਗੁਣਾਂ ਲਈ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਰੱਖਦੀ ਹੈ। ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇਸੀਐਚ4, PH3, B2H6, A8H3,ਐੱਚ.ਸੀ.ਐੱਲ., ਸੀਐਫ4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, ਬੀਸੀਐਲ 3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,ਐਸਐਫ6… ਇਤਆਦਿ.

ਸਪਾਈਸ਼ੀਅਲ ਗੈਸਾਂ ਦੀਆਂ ਕਿਸਮਾਂ

ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ ਦੀਆਂ ਕਿਸਮਾਂ: ਖੋਰ, ਜ਼ਹਿਰੀਲੇ, ਜਲਣਸ਼ੀਲ, ਜਲਣਸ਼ੀਲ, ਅਯੋਗ, ਆਦਿ।
ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤੀਆਂ ਜਾਣ ਵਾਲੀਆਂ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਗੈਸਾਂ ਨੂੰ ਹੇਠ ਲਿਖੇ ਅਨੁਸਾਰ ਸ਼੍ਰੇਣੀਬੱਧ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ:
(i) ਖੋਰਨ ਵਾਲਾ/ਜ਼ਹਿਰੀਲਾ:ਐੱਚਸੀਐਲ、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、ਬੀਸੀਐਲ3…
(ii) ਜਲਣਸ਼ੀਲ: H2,ਸੀਐਚ4,ਸੀਐਚ4、PH3、AsH3、SiH2Cl2,B2H6,CH2F2,CH3F,CO…
(iii) ਜਲਣਸ਼ੀਲ: O2, Cl2, N2O, NF3…
(iv) ਅਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ: N2,ਸੀਐਫ 4、ਸੀ2ਐਫ6、ਸੀ4ਐਫ8,ਐਸਐਫ6,CO2,Ne,Kr,ਉਹ...

ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਚਿੱਪ ਨਿਰਮਾਣ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਲਗਭਗ 50 ਵੱਖ-ਵੱਖ ਕਿਸਮਾਂ ਦੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ (ਜਿਨ੍ਹਾਂ ਨੂੰ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ) ਆਕਸੀਕਰਨ, ਪ੍ਰਸਾਰ, ਜਮ੍ਹਾ, ਐਚਿੰਗ, ਇੰਜੈਕਸ਼ਨ, ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਅਤੇ ਹੋਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚ ਵਰਤੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ, ਅਤੇ ਕੁੱਲ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਪੜਾਅ ਸੈਂਕੜੇ ਤੋਂ ਵੱਧ ਹਨ। ਉਦਾਹਰਣ ਵਜੋਂ, PH3 ਅਤੇ AsH3 ਨੂੰ ਆਇਨ ਇਮਪਲਾਂਟੇਸ਼ਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਫਾਸਫੋਰਸ ਅਤੇ ਆਰਸੈਨਿਕ ਸਰੋਤਾਂ ਵਜੋਂ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, F-ਅਧਾਰਿਤ ਗੈਸਾਂ CF4, CHF3, SF6 ਅਤੇ ਹੈਲੋਜਨ ਗੈਸਾਂ CI2, BCI3, HBr ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, SiH4, NH3, N2O ਜਮ੍ਹਾ ਫਿਲਮ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, F2/Kr/Ne, Kr/Ne ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।

ਉਪਰੋਕਤ ਪਹਿਲੂਆਂ ਤੋਂ, ਅਸੀਂ ਸਮਝ ਸਕਦੇ ਹਾਂ ਕਿ ਬਹੁਤ ਸਾਰੀਆਂ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਗੈਸਾਂ ਮਨੁੱਖੀ ਸਰੀਰ ਲਈ ਨੁਕਸਾਨਦੇਹ ਹਨ। ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਕੁਝ ਗੈਸਾਂ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ SiH4, ਆਪਣੇ ਆਪ ਜਲ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ। ਜਿੰਨਾ ਚਿਰ ਉਹ ਲੀਕ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ, ਉਹ ਹਵਾ ਵਿੱਚ ਆਕਸੀਜਨ ਨਾਲ ਹਿੰਸਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਕਰਦੀਆਂ ਰਹਿਣਗੀਆਂ ਅਤੇ ਸੜਨ ਲੱਗ ਪੈਣਗੀਆਂ; ਅਤੇ AsH3 ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਜ਼ਹਿਰੀਲਾ ਹੈ। ਕੋਈ ਵੀ ਮਾਮੂਲੀ ਲੀਕ ਲੋਕਾਂ ਦੇ ਜੀਵਨ ਨੂੰ ਨੁਕਸਾਨ ਪਹੁੰਚਾ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਇਸ ਲਈ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਲਈ ਕੰਟਰੋਲ ਸਿਸਟਮ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਦੀ ਸੁਰੱਖਿਆ ਲਈ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਉੱਚੀਆਂ ਹਨ।

ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰਾਂ ਨੂੰ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੀਆਂ ਗੈਸਾਂ ਨੂੰ "ਤਿੰਨ ਡਿਗਰੀ" ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।

ਗੈਸ ਸ਼ੁੱਧਤਾ

ਗੈਸ ਵਿੱਚ ਅਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਦੀ ਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਗੈਸ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੇ ਪ੍ਰਤੀਸ਼ਤ ਵਜੋਂ ਦਰਸਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ 99.9999%। ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ ਲਈ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੀ ਲੋੜ 5N-6N ਤੱਕ ਪਹੁੰਚਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਸਨੂੰ ਅਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਸਮੱਗਰੀ ppm (ਭਾਗ ਪ੍ਰਤੀ ਮਿਲੀਅਨ), ppb (ਭਾਗ ਪ੍ਰਤੀ ਬਿਲੀਅਨ), ਅਤੇ ppt (ਭਾਗ ਪ੍ਰਤੀ ਟ੍ਰਿਲੀਅਨ) ਦੇ ਆਇਤਨ ਅਨੁਪਾਤ ਦੁਆਰਾ ਵੀ ਦਰਸਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਖੇਤਰ ਵਿੱਚ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਗੁਣਵੱਤਾ ਸਥਿਰਤਾ ਲਈ ਸਭ ਤੋਂ ਵੱਧ ਲੋੜਾਂ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ, ਅਤੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ 6N ਤੋਂ ਵੱਧ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।

ਖੁਸ਼ਕੀ

ਗੈਸ ਵਿੱਚ ਟਰੇਸ ਪਾਣੀ ਦੀ ਮਾਤਰਾ, ਜਾਂ ਨਮੀ, ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਤ੍ਰੇਲ ਬਿੰਦੂ ਵਿੱਚ ਦਰਸਾਈ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਵਾਯੂਮੰਡਲੀ ਤ੍ਰੇਲ ਬਿੰਦੂ -70℃।

ਸਫਾਈ

ਗੈਸ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਦੂਸ਼ਕ ਕਣਾਂ ਦੀ ਗਿਣਤੀ, µm ਦੇ ਕਣ ਆਕਾਰ ਵਾਲੇ ਕਣਾਂ ਨੂੰ ਕਿੰਨੇ ਕਣ/M3 ਵਿੱਚ ਦਰਸਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਸੰਕੁਚਿਤ ਹਵਾ ਲਈ, ਇਸਨੂੰ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਅਟੱਲ ਠੋਸ ਰਹਿੰਦ-ਖੂੰਹਦ ਦੇ mg/m3 ਵਿੱਚ ਦਰਸਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਤੇਲ ਦੀ ਸਮੱਗਰੀ ਸ਼ਾਮਲ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।