ਮੁਕਾਬਲਤਨ ਉੱਨਤ ਉਤਪਾਦਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਦੇ ਨਾਲ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਵੇਫਰ ਫਾਊਂਡਰੀਜ਼ ਦੀ ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਲਗਭਗ 50 ਵੱਖ-ਵੱਖ ਕਿਸਮਾਂ ਦੀਆਂ ਗੈਸਾਂ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਗੈਸਾਂ ਨੂੰ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਬਲਕ ਗੈਸਾਂ ਵਿੱਚ ਵੰਡਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ.

ਮਾਈਕ੍ਰੋਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨਿਕਸ ਅਤੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗਾਂ ਵਿੱਚ ਗੈਸਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚ ਗੈਸਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਹਮੇਸ਼ਾ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਭੂਮਿਕਾ ਨਿਭਾਉਂਦੀ ਹੈ, ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਉਦਯੋਗਾਂ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ। ULSI, TFT-LCD ਤੋਂ ਮੌਜੂਦਾ ਮਾਈਕ੍ਰੋ-ਇਲੈਕਟਰੋਮੈਕਨੀਕਲ (MEMS) ਉਦਯੋਗ ਤੱਕ, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਨੂੰ ਉਤਪਾਦ ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਦੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਸੁੱਕੀ ਐਚਿੰਗ, ਆਕਸੀਕਰਨ, ਆਇਨ ਇਮਪਲਾਂਟੇਸ਼ਨ, ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਜਮ੍ਹਾਂ ਕਰਨਾ ਆਦਿ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ।

ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਬਹੁਤ ਸਾਰੇ ਲੋਕ ਜਾਣਦੇ ਹਨ ਕਿ ਚਿਪਸ ਰੇਤ ਦੇ ਬਣੇ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਪਰ ਚਿਪ ਨਿਰਮਾਣ ਦੀ ਸਮੁੱਚੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨੂੰ ਦੇਖਦੇ ਹੋਏ, ਹੋਰ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ, ਪਾਲਿਸ਼ ਕਰਨ ਵਾਲਾ ਤਰਲ, ਨਿਸ਼ਾਨਾ ਸਮੱਗਰੀ, ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸ, ਆਦਿ ਲਾਜ਼ਮੀ ਹਨ। ਬੈਕ-ਐਂਡ ਪੈਕੇਜਿੰਗ ਲਈ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਦੇ ਸਬਸਟਰੇਟਸ, ਇੰਟਰਪੋਜ਼ਰ, ਲੀਡ ਫਰੇਮ, ਬੰਧਨ ਸਮੱਗਰੀ ਆਦਿ ਦੀ ਵੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਲਾਗਤਾਂ ਵਿੱਚ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਦੂਜੀ ਸਭ ਤੋਂ ਵੱਡੀ ਸਮੱਗਰੀ ਹਨ, ਜਿਸ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਮਾਸਕ ਅਤੇ ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ ਹਨ।

ਗੈਸ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦਾ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਅਤੇ ਉਤਪਾਦ ਦੀ ਪੈਦਾਵਾਰ 'ਤੇ ਨਿਰਣਾਇਕ ਪ੍ਰਭਾਵ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਗੈਸ ਸਪਲਾਈ ਦੀ ਸੁਰੱਖਿਆ ਕਰਮਚਾਰੀਆਂ ਦੀ ਸਿਹਤ ਅਤੇ ਫੈਕਟਰੀ ਸੰਚਾਲਨ ਦੀ ਸੁਰੱਖਿਆ ਨਾਲ ਸਬੰਧਤ ਹੈ। ਗੈਸ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਲਾਈਨ ਅਤੇ ਕਰਮਚਾਰੀਆਂ 'ਤੇ ਇੰਨਾ ਵੱਡਾ ਪ੍ਰਭਾਵ ਕਿਉਂ ਪਾਉਂਦੀ ਹੈ? ਇਹ ਕੋਈ ਅਤਿਕਥਨੀ ਨਹੀਂ ਹੈ, ਪਰ ਗੈਸ ਦੀਆਂ ਖਤਰਨਾਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਦੁਆਰਾ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ.

ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗ ਵਿੱਚ ਆਮ ਗੈਸਾਂ ਦਾ ਵਰਗੀਕਰਨ

ਆਮ ਗੈਸ

ਆਮ ਗੈਸ ਨੂੰ ਬਲਕ ਗੈਸ ਵੀ ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ: ਇਹ ਉਦਯੋਗਿਕ ਗੈਸ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦਾ ਹੈ ਜਿਸਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੀ ਲੋੜ 5N ਤੋਂ ਘੱਟ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਉਤਪਾਦਨ ਅਤੇ ਵਿਕਰੀ ਦੀ ਵੱਡੀ ਮਾਤਰਾ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਇਸ ਨੂੰ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਤਿਆਰੀ ਵਿਧੀਆਂ ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ ਹਵਾ ਵੱਖ ਕਰਨ ਵਾਲੀ ਗੈਸ ਅਤੇ ਸਿੰਥੈਟਿਕ ਗੈਸ ਵਿੱਚ ਵੰਡਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ (H2), ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ (N2), ਆਕਸੀਜਨ (O2), ਆਰਗਨ (A2), ਆਦਿ;

ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸ

ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾ ਗੈਸ ਉਦਯੋਗਿਕ ਗੈਸ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦੀ ਹੈ ਜੋ ਖਾਸ ਖੇਤਰਾਂ ਵਿੱਚ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਸ਼ੁੱਧਤਾ, ਵਿਭਿੰਨਤਾ ਅਤੇ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਲਈ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਲੋੜਾਂ ਰੱਖਦੀ ਹੈ। ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇSiH4, PH3, B2H6, A8H3,ਐੱਚ.ਸੀ.ਐੱਲ, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, ਬੀਸੀਐਲ3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… ਇਤਆਦਿ.

ਸਪੈਸ਼ਲ ਗੈਸਾਂ ਦੀਆਂ ਕਿਸਮਾਂ

ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ ਦੀਆਂ ਕਿਸਮਾਂ: ਖੋਰ, ਜ਼ਹਿਰੀਲੇ, ਜਲਣਸ਼ੀਲ, ਬਲਨ-ਸਹਾਇਕ, ਜੜ, ਆਦਿ।
ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਗੈਸਾਂ ਨੂੰ ਹੇਠ ਲਿਖੇ ਅਨੁਸਾਰ ਸ਼੍ਰੇਣੀਬੱਧ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ:
(i) ਖਰਾਬ/ਜ਼ਹਿਰੀਲੇ:ਐਚ.ਸੀ.ਐਲ、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2,NH3,PH3,Cl2,BCl3…
(ii) ਜਲਣਸ਼ੀਲ: H2,CH4,SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2,B2H6,CH2F2,CH3F,CO…
(iii) ਜਲਨਸ਼ੀਲ: O2, Cl2, N2O, NF3…
(iv) Inert: N2,CF4,C2F6,C4F8,SF6CO2,Ne,Kr, ਉਹ…

ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਚਿੱਪ ਨਿਰਮਾਣ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਲਗਭਗ 50 ਵੱਖ-ਵੱਖ ਕਿਸਮਾਂ ਦੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ (ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ ਵਜੋਂ ਜਾਣੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ) ਆਕਸੀਕਰਨ, ਫੈਲਣ, ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ, ਐਚਿੰਗ, ਇੰਜੈਕਸ਼ਨ, ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਅਤੇ ਹੋਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚ ਵਰਤੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ, ਅਤੇ ਕੁੱਲ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਪੜਾਅ ਸੈਂਕੜੇ ਤੋਂ ਵੱਧ ਹਨ। ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, PH3 ਅਤੇ AsH3 ਨੂੰ ਆਇਨ ਇਮਪਲਾਂਟੇਸ਼ਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਫਾਸਫੋਰਸ ਅਤੇ ਆਰਸੈਨਿਕ ਸਰੋਤਾਂ ਵਜੋਂ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, F- ਅਧਾਰਿਤ ਗੈਸਾਂ CF4, CHF3, SF6 ਅਤੇ ਹੈਲੋਜਨ ਗੈਸਾਂ CI2, BCI3, HBr ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਵਰਤੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ, SiH4, NH3, N2O ਵਿੱਚ ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਜਮ੍ਹਾਂ ਫਿਲਮ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ, F2/Kr/Ne, Kr/Ne।

ਉਪਰੋਕਤ ਪਹਿਲੂਆਂ ਤੋਂ ਅਸੀਂ ਸਮਝ ਸਕਦੇ ਹਾਂ ਕਿ ਬਹੁਤ ਸਾਰੀਆਂ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਗੈਸਾਂ ਮਨੁੱਖੀ ਸਰੀਰ ਲਈ ਹਾਨੀਕਾਰਕ ਹਨ। ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਕੁਝ ਗੈਸਾਂ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ SiH4, ਸਵੈ-ਜਲਣ ਵਾਲੀਆਂ ਹਨ। ਜਿੰਨਾ ਚਿਰ ਉਹ ਲੀਕ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਉਹ ਹਵਾ ਵਿੱਚ ਆਕਸੀਜਨ ਨਾਲ ਹਿੰਸਕ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਕਰਨਗੇ ਅਤੇ ਸੜਨਾ ਸ਼ੁਰੂ ਕਰਨਗੇ; ਅਤੇ AsH3 ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਜ਼ਹਿਰੀਲਾ ਹੈ। ਕੋਈ ਵੀ ਮਾਮੂਲੀ ਲੀਕੇਜ ਲੋਕਾਂ ਦੇ ਜੀਵਨ ਨੂੰ ਨੁਕਸਾਨ ਪਹੁੰਚਾ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਇਸ ਲਈ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਲਈ ਕੰਟਰੋਲ ਸਿਸਟਮ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਦੀ ਸੁਰੱਖਿਆ ਲਈ ਲੋੜਾਂ ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਉੱਚੀਆਂ ਹਨ।

ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰਾਂ ਨੂੰ "ਤਿੰਨ ਡਿਗਰੀ" ਹੋਣ ਲਈ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੀਆਂ ਗੈਸਾਂ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ

ਗੈਸ ਸ਼ੁੱਧਤਾ

ਗੈਸ ਵਿੱਚ ਅਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਦੀ ਸਮਗਰੀ ਨੂੰ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਗੈਸ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੇ ਪ੍ਰਤੀਸ਼ਤ ਵਜੋਂ ਦਰਸਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ 99.9999%। ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ ਲਈ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੀ ਲੋੜ 5N-6N ਤੱਕ ਪਹੁੰਚਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਸ ਨੂੰ ਅਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਸਮੱਗਰੀ ppm (ਭਾਗ ਪ੍ਰਤੀ ਮਿਲੀਅਨ), ppb (ਪਾਰਟ ਪ੍ਰਤੀ ਅਰਬ), ਅਤੇ ppt (ਪਾਰਟ ਪ੍ਰਤੀ ਟ੍ਰਿਲੀਅਨ) ਦੇ ਅਨੁਪਾਤ ਦੁਆਰਾ ਵੀ ਦਰਸਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਖੇਤਰ ਵਿੱਚ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਗੁਣਵੱਤਾ ਸਥਿਰਤਾ ਲਈ ਸਭ ਤੋਂ ਵੱਧ ਲੋੜਾਂ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ, ਅਤੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ 6N ਤੋਂ ਵੱਧ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।

ਖੁਸ਼ਕੀ

ਗੈਸ ਵਿੱਚ ਟਰੇਸ ਵਾਟਰ ਦੀ ਸਮੱਗਰੀ, ਜਾਂ ਨਮੀ, ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਤ੍ਰੇਲ ਬਿੰਦੂ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਗਟ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਦੇ ਤ੍ਰੇਲ ਬਿੰਦੂ -70℃।

ਸਫਾਈ

ਗੈਸ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਦੂਸ਼ਕ ਕਣਾਂ ਦੀ ਸੰਖਿਆ, µm ਦੇ ਕਣ ਦੇ ਆਕਾਰ ਵਾਲੇ ਕਣਾਂ ਨੂੰ ਕਿੰਨੇ ਕਣਾਂ/M3 ਵਿੱਚ ਦਰਸਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ। ਸੰਕੁਚਿਤ ਹਵਾ ਲਈ, ਇਸ ਨੂੰ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਅਟੱਲ ਠੋਸ ਰਹਿੰਦ-ਖੂੰਹਦ ਦੇ mg/m3 ਵਿੱਚ ਦਰਸਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਤੇਲ ਦੀ ਸਮੱਗਰੀ ਸ਼ਾਮਲ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।