ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਮਿਸ਼ਰਤ ਗੈਸਾਂ

ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ (ਵਾਧਾ)ਮਿਕਸਡ ਗਾs

ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗ ਵਿੱਚ, ਧਿਆਨ ਨਾਲ ਚੁਣੇ ਗਏ ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾਂ ਕਰਕੇ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀਆਂ ਇੱਕ ਜਾਂ ਵੱਧ ਪਰਤਾਂ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣ ਲਈ ਵਰਤੀ ਜਾਣ ਵਾਲੀ ਗੈਸ ਨੂੰ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਗੈਸ ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।

ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤੀਆਂ ਜਾਣ ਵਾਲੀਆਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਗੈਸਾਂ ਵਿੱਚ ਡਾਇਕਲੋਰੋਸਿਲੇਨ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਟੈਟਰਾਕਲੋਰਾਈਡ ਅਤੇਸਿਲੇਨ. ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਡਿਪੋਜ਼ਿਸ਼ਨ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਆਕਸਾਈਡ ਫਿਲਮ ਡਿਪੋਜ਼ਿਸ਼ਨ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਨਾਈਟਰਾਈਡ ਫਿਲਮ ਡਿਪੋਜ਼ਿਸ਼ਨ, ਸੂਰਜੀ ਸੈੱਲਾਂ ਅਤੇ ਹੋਰ ਫੋਟੋਰੀਸੈਪਟਰਾਂ ਲਈ ਅਮੋਰਫਸ ਸਿਲੀਕਾਨ ਫਿਲਮ ਡਿਪੋਜ਼ਿਸ਼ਨ, ਆਦਿ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਐਪੀਟੈਕਸੀ ਇੱਕ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਹੈ ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਉਗਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।

ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ (CVD) ਮਿਸ਼ਰਤ ਗੈਸ

ਸੀਵੀਡੀ ਗੈਸ ਪੜਾਅ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਵਾਂ ਦੁਆਰਾ ਅਸਥਿਰ ਮਿਸ਼ਰਣਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਕੇ ਕੁਝ ਤੱਤਾਂ ਅਤੇ ਮਿਸ਼ਰਣਾਂ ਨੂੰ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਦਾ ਇੱਕ ਤਰੀਕਾ ਹੈ, ਭਾਵ, ਗੈਸ ਪੜਾਅ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਵਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਕੇ ਇੱਕ ਫਿਲਮ ਬਣਾਉਣ ਦਾ ਤਰੀਕਾ। ਬਣੀ ਫਿਲਮ ਦੀ ਕਿਸਮ ਦੇ ਅਧਾਰ ਤੇ, ਵਰਤੀ ਜਾਣ ਵਾਲੀ ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾਂ (ਸੀਵੀਡੀ) ਗੈਸ ਵੀ ਵੱਖਰੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।

ਡੋਪਿੰਗਮਿਸ਼ਰਤ ਗੈਸ

ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਯੰਤਰਾਂ ਅਤੇ ਏਕੀਕ੍ਰਿਤ ਸਰਕਟਾਂ ਦੇ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ, ਕੁਝ ਅਸ਼ੁੱਧੀਆਂ ਨੂੰ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਵਿੱਚ ਡੋਪ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਤਾਂ ਜੋ ਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਲੋੜੀਂਦੀ ਚਾਲਕਤਾ ਕਿਸਮ ਅਤੇ ਰੋਧਕਾਂ, ਪੀਐਨ ਜੰਕਸ਼ਨ, ਦੱਬੀਆਂ ਪਰਤਾਂ, ਆਦਿ ਦੇ ਨਿਰਮਾਣ ਲਈ ਇੱਕ ਖਾਸ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕਤਾ ਦਿੱਤੀ ਜਾ ਸਕੇ। ਡੋਪਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਵਰਤੀ ਜਾਣ ਵਾਲੀ ਗੈਸ ਨੂੰ ਡੋਪਿੰਗ ਗੈਸ ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।

ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਆਰਸਾਈਨ, ਫਾਸਫਾਈਨ, ਫਾਸਫੋਰਸ ਟ੍ਰਾਈਫਲੋਰਾਈਡ, ਫਾਸਫੋਰਸ ਪੈਂਟਾਫਲੋਰਾਈਡ, ਆਰਸੈਨਿਕ ਟ੍ਰਾਈਫਲੋਰਾਈਡ, ਆਰਸੈਨਿਕ ਪੈਂਟਾਫਲੋਰਾਈਡ, ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ।ਬੋਰਾਨ ਟ੍ਰਾਈਫਲੋਰਾਈਡ, ਡਾਇਬੋਰੇਨ, ਆਦਿ।

ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਡੋਪਿੰਗ ਸਰੋਤ ਨੂੰ ਇੱਕ ਸਰੋਤ ਕੈਬਨਿਟ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਕੈਰੀਅਰ ਗੈਸ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਆਰਗਨ ਅਤੇ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ) ਨਾਲ ਮਿਲਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਮਿਲਾਉਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਗੈਸ ਦਾ ਪ੍ਰਵਾਹ ਲਗਾਤਾਰ ਫੈਲਾਅ ਭੱਠੀ ਵਿੱਚ ਟੀਕਾ ਲਗਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਘੇਰ ਲੈਂਦਾ ਹੈ, ਵੇਫਰ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਡੋਪੈਂਟ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਫਿਰ ਸਿਲੀਕਾਨ ਨਾਲ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਕਰਕੇ ਡੋਪਡ ਧਾਤਾਂ ਪੈਦਾ ਕਰਦਾ ਹੈ ਜੋ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਵਾਸ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ।

ਐਚਿੰਗਗੈਸ ਮਿਸ਼ਰਣ

ਐਚਿੰਗ ਦਾ ਮਤਲਬ ਹੈ ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਸਤਹ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਮੈਟਲ ਫਿਲਮ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਆਕਸਾਈਡ ਫਿਲਮ, ਆਦਿ) ਨੂੰ ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ ਮਾਸਕਿੰਗ ਤੋਂ ਬਿਨਾਂ ਨੱਕਾਸ਼ੀ ਕਰਨਾ, ਜਦੋਂ ਕਿ ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ ਮਾਸਕਿੰਗ ਨਾਲ ਖੇਤਰ ਨੂੰ ਸੁਰੱਖਿਅਤ ਰੱਖਣਾ, ਤਾਂ ਜੋ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਤਹ 'ਤੇ ਲੋੜੀਂਦਾ ਇਮੇਜਿੰਗ ਪੈਟਰਨ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕੇ।

ਐਚਿੰਗ ਦੇ ਤਰੀਕਿਆਂ ਵਿੱਚ ਗਿੱਲਾ ਰਸਾਇਣਕ ਐਚਿੰਗ ਅਤੇ ਸੁੱਕਾ ਰਸਾਇਣਕ ਐਚਿੰਗ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ। ਸੁੱਕੇ ਰਸਾਇਣਕ ਐਚਿੰਗ ਵਿੱਚ ਵਰਤੀ ਜਾਣ ਵਾਲੀ ਗੈਸ ਨੂੰ ਐਚਿੰਗ ਗੈਸ ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।

ਐਚਿੰਗ ਗੈਸ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਫਲੋਰਾਈਡ ਗੈਸ (ਹੈਲਾਈਡ) ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿਕਾਰਬਨ ਟੈਟਰਾਫਲੋਰਾਈਡ, ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਟ੍ਰਾਈਫਲੋਰਾਈਡ, ਟ੍ਰਾਈਫਲੋਰੋਮੀਥੇਨ, ਹੈਕਸਾਫਲੋਰੋਈਥੇਨ, ਪਰਫਲੂਰੋਪ੍ਰੋਪੇਨ, ਆਦਿ।


ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਨਵੰਬਰ-22-2024